设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872627

电子邮箱: bliu2012@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘彬

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: IBE-A150

所属科研设施:

主要功能: 通过Ar等离子体轰刻蚀各种材料

主要技术指标: 极限真空度：2×10-4Pa，离子能量：300eV-400eV

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: