设备分类编码: 029900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0510-81817021

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 吴健

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他

规格型号: MSA-500

所属科研设施:

主要功能: 非接触性测量，用于测量MEMS的多种动态和静态特性参数，包括异面振动特性，共面位移特性和MEMS器件的表面形貌及结构特性。

主要技术指标: 满足最大直径8英寸（200MM），兼容6寸和4寸硅片和碎片； MSMS结构非共面测量的最大频率1MHZ; 像素分辨率达到0.5UM,Z方向分辨率1NM;

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: