设备分类编码: 140101

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65112492

电子邮箱: changsipeng@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 彭长四

仪器所属类别: 激光器>>激光器>>激光器

规格型号: Spitlight SLM Aktive IS/波长1064nm/532nm/355nm/266nm/213nm

所属科研设施:

主要功能: "Nd:YAG固体激光器是一种操作维护简单，用于微纳结构研究的前端设备，实验室有刻蚀机、镀膜机可以配套使用，本单位可以充分发挥激光图形化设备的作用，与本学科结合，促进研究水平进步。大功率脉冲激光直写，采用单脉冲干涉成像、扫描的方式进行光刻，倍频固体激光器的355 nm、266 nm、213 nm输出，分辨率分别可以达到200 nm、150 nm、110 nm，适合科研灵活性，使用油浸的方式，可以实现更低的分辨率。配备专门光路设计，非常适合光学微纳结构研究，尤其是微纳仿生研究。 "

主要技术指标: "(1) 波长（wavelength）：1064nm, 532nm, 355nm, 266nm, 213nm； (2) 重复频率：10Hz以及单脉冲输出； (3) 脉冲能量：1064nm波长输出大于600mJ，532nm波长输出大于400mJ，355nm波长输出大于200mJ，266nm波长输出大于100mJ，213nm波长输出大于40mJ； (4) 能量稳定性（RMS）：1064nm波长输出优于1.0%，532nm波长输出优于2.0%，355nm波长输出优于2.5%，266nm波长输出优于4.0%； (5) 光斑模式（Spatial Mode）：Flat-top平顶，266nm波长，在最大输出功率的90%时测量，平顶度在14%以内，“平顶度”定义为光斑能量分布最大偏差的绝对值和平均值之比； (6) 光斑平整性：光斑平整性优于15%，“平整性”定义为光斑凹洞或凸起面积超过平顶部分10%的地方，凹洞深度或凸起高度，与光斑平顶部分总的平均值之比值；

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无