设备分类编码: 040503

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 彭炜

仪器所属类别: 电子测量仪器>>大规模集成电路测试仪器>>数模混合信号测试系统

规格型号: Summit2000B-S

所属科研设施:

主要功能: 对晶圆、芯片及器件进行在片直流电学性能测试。

主要技术指标: 支持8英寸及以下样品；X、Y、Z、theta四个方向的移动全程程序自动控制，可自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿和远程控制；载物台XY方向1μm分辨率、2μm重复精度、最大50mm/sec移动速度，Z方向5mm移动范围、1μm 分辨率、1μm 重复精度，Theta方向转动角度范围≥10度，角度分辨率≦0.002度，重复性≦0.007度；4个直流探针座精确度+/- 2um, 重复性+/- 2um，漏电流小于100fA ；显微镜最大放大倍率700倍，可连续变焦，内置高清CCD摄像头。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: