设备分类编码: 010301

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 化学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524991

电子邮箱: gaohf@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市北三环东路18号中国计量科学研究院

邮政编码: 100029

联系人: 高慧芳

仪器所属类别: 分析仪器>>X射线仪器>>X射线衍射仪

规格型号: X Pert PRO MRD

所属科研设施:

主要功能: 单层多层薄膜镀层的厚度、粗糙度、电子密度测试；物相分析；织构测定；应力分析；摇摆曲线测试

主要技术指标: 光管功率：2-3 kW;探测器线性范围：≥1,000,000Cps;角度重现性：0.0001°

安放地址: 十三陵镇石牌坊北路18号

服务内容: 标准物质定值；单层多层薄膜镀层的厚度、粗糙度、电子密度测试；物相分析；织构测定；应力分析；摇摆曲线测试

服务的典型成果: 建立了纳米薄膜厚度校准装置，开展纳米薄膜镀层厚度校准服务，为薄膜厚度的准确测量起到了良好的技术支持作用。中国科技大学承担的国家纳米重大项目，其中纳米材料表征中的计算模拟研究，采用理论计算膜厚结果，计量院采用GIXRR方法为其铜膜等超薄薄膜样品的厚度进行准确测量，对方将准确测量结果与理论计算结果对比，确定理论计算的准确性，为该项目顺利进行提供了可靠的技术支撑。此外，还为其它相关科研院所、制造企业开展薄膜厚度校准服务，支持国家重大科研项目的进展及集成电路产业的发展。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》