设备分类编码: 030118

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [生物学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 周伟民

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>原子力显微镜

规格型号: DI3100

所属科研设施:

主要功能: Dimension 3100 SPM 使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术， 可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。 它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据处理能力

主要技术指标: 噪声：在屏蔽噪声和震动后，均方根在垂直（Z）方向上小于0.5埃 开环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围标准的横向精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 闭环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围,典型的横向非线性精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 带刻度的扫描头：X-Y方向上约75微米的正方形范围,Z方向上约7微米范围,横向精度±0.3%X-Y方向上非正交角小于0.1度在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 样品尺寸：直径小于150毫米（可选择卡盘使直径范围达到200毫米）厚度小于12毫米（可选用适配器来扫描更厚的样品） 样品支架：150毫米的封闭式卡盘可承载硬盘、半导体晶片和其他样品；可互换的适配器，可将硬盘中心定位（标准）；可移动的晶片定位夹（标准）；真空泵（标准）；磁力支架，可用于直径小于15毫米厚度小于6毫米的样品（标准）；200毫米的封闭式卡盘可承载150毫米和200毫米晶片（可选）；液槽，可将显微镜扫描头沉浸在小于7毫米深的液体中（可选） 载物台：增强的机动化定位系统；可检查区域125毫米*100毫米；分辨率2微米；单向重复精度3微米（最大10微米）;双向重复精度X轴4微米，Y轴6微米 针尖/悬臂支架：轻敲/接触模式（标准）；力调制/扫描隧道显微镜支架（可选）；在液体中操作的针尖支架（可选） 显微镜光学系统：可视区域150微米到670微米；机动化缩放和聚焦；分辨率约1.5微米；计算机控制的照明系统；视频图像采集 针尖检查：在轴上，通过显微镜光学系统实时检查 振动隔离：硅树脂防震垫（标准）；抗震台（可选）； 控制器： NanoScope E, M, IIIa, 或者IV 电源要求：单相700瓦，100、120或者240伏，50或者60赫兹 显微镜重量：约150英镑（68千克）

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服务内容:

服务的典型成果:

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