设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642222

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 林殷茵

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: UF3000EX-e型

所属科研设施:

主要功能: 300mm测试探针台，最大工作误差小于2um，用于每片12英寸晶圆上的各个芯片的电信号的检测来保证半导体产品的品质。

主要技术指标: 最大晶圆300mm，最大误差2um，平台承重200kg，先进的光学识别系统

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: