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铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统  (收藏)

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设备分类编码: 100202

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642222

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 孙清清

仪器所属类别: 核仪器>>活化分析仪器>>带电粒子活化分析仪

规格型号: LTC-150

所属科研设施:

主要功能: 仪器仪表、计量标准器具及量具、衡器

主要技术指标: 仪器仪表、计量标准器具及量具、衡器

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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