设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524908

电子邮箱: liwei@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 李伟

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: ULTRA 55

所属科研设施:

主要功能: 包括EsB（能量选择背散射电子探测器）、AsB（角度选择背散射电子探测器）、SE（样品室二次电子探测器）和In-lens SE（镜筒内安装的二次电子探测器）以及EDS能谱分析。用于各种样品的微观形貌观察和显微结构与成分分析。

主要技术指标: 分辨率(在最佳工作距离): 0.8 nm在30 kV (STEM 模式) ， 1.0 nm在15 kV ，1.7 nm在1 kV。 放大倍数： 12 – 1,000,000× (SE)， 100 – 1,000,000× (BSE)

安放地址: 北三环东路18号

服务内容: 建立计量型扫描电子显微镜，用于扫描电镜校准样板的量值溯源。用于微纳器件的结构尺寸与形貌测量和表征。为新材料的研究与开发提供测试手段。

服务的典型成果: 服务于科技支撑计划课题“用于计量的微纳集成器件关键技术研究”，利用扫描电子显微镜高分辨力成像，对量子器件中的纳米薄膜厚度测量，从而对器件制备的条件进行优化起到支持作用。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》