设备分类编码: 020199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54263338

电子邮箱: sensor@mail.sim.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 戈肖鸿

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>其他

规格型号: FLX-2320-S

所属科研设施:

主要功能: 进行氮化硅、氧化硅薄膜的应力测试。

主要技术指标: 适用于4、6英寸兼容的硅片测试，测试范围正负2个GPa.

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: