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原位薄膜应力测量系统  (收藏)

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设备分类编码: 020104

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-69918251

电子邮箱: wlzhang@siom.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张伟丽

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>表面界面张力仪

规格型号: KSA MOS

所属科研设施:

主要功能: 用于镀膜过程中对膜层应力的实时测量

主要技术指标: 激光波长658nm,功率>13mW,功率稳定性≤0.2%(24小时),温度稳定性<0.2℃

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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