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电子束刻蚀系统  (收藏)

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设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-68913163

电子邮箱: songxinbing@bit.edu.cn

通讯地址: 北京理工大学

邮政编码: 100081

联系人: 宋新兵

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: SUPRA 55 SAPPHIRE

所属科研设施:

主要功能: 极限环境测试

主要技术指标: 静态试验

安放地址: 中关村南大街5号

服务内容: 扫描电镜可以对样品的表面形貌进行分析和观察,得到高分辨率的图像,能谱仪可分析样品的元素组成。该设备装配了图形发生器和电子束快门还可用于电子束刻蚀制备超精密微纳结构。

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 提前电联

参考收费标准: 校内:240元/小时,校外:300元/小时



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