设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [天文学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-68913074

电子邮箱: chenyy@bit.edu.cn

通讯地址: 北京理工大学

邮政编码: 100081

联系人: 陈越洋

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: OMEGA LPX DSI

所属科研设施:

主要功能: 该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化

主要技术指标: 100mm硅片，刻蚀速度>2微米/分钟

安放地址: 中关村南大街5号

服务内容: 实验测试

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 提前电联

参考收费标准: 校内750元/小时；校外1500元/小时