设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: daijun@icrd.com.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号

邮政编码: 201210

联系人: 戴峻

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: SEMVisioncX

所属科研设施:

主要功能: 适用于直至90nm技术代的缺陷细微检查和成分分析

主要技术指标: 缺陷检知率>90%重复性>95%分辨率<4nm产能>9片/小时

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高斯路497号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 视项目而定