设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: daijun@icrd.com.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号

邮政编码: 201210

联系人: 戴峻

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: Puma9150

所属科研设施:

主要功能: 用于45纳米工艺缺陷扫描

主要技术指标: 1. 低角度散射信号收集,从而更好的抑制前层噪音,提高信噪比.2. 同时具有微粒缺陷和图形缺陷的检测能力,且两者最小检测缺陷必须达到0.2微米3. 在达到基本检测灵敏度情况下,吞吐量要达到20片每小时.

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高斯路497号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 视项目而定