设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: daijun@icrd.com.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号

邮政编码: 201210

联系人: 戴峻

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: CV300R

所属科研设施:

主要功能: 该设备可用于45纳米的工艺研发过程中的晶圆边缘缺陷检测

主要技术指标: 1. 高扫描精度, 其入射光斑小于2微米;2. 高光学放大倍率,至少达到500倍;3. 缺陷扫描能够覆盖上平面,上斜坡面,边缘顶点,下斜坡面和下平面 5个区域.

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高斯路497号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 视项目而定