设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: daijun@icrd.com.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号

邮政编码: 201210

联系人: 戴峻

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: AT8

所属科研设施:

主要功能: 应用在8英寸大规模集成电路光刻涂胶工艺。主要应用在光刻胶的涂布，抗反射涂层的涂布，光刻胶的显影，光刻胶的烘焙。

主要技术指标: 测试项目测试条件验收规格测试方式涂胶模块马达转速10~6000rpm+/-1rpm.设备自带功能进行测试显影模块马达转速10~5000rpm+/-1rpm.硅片预处理温度控制（ADH）50.0-120.0 CR<=0.4 deg C每个范围内选定一个温度，每个温度/每个热板测1片，每片测5点120.1-150.0 C R<=0.8 deg C150.1-180.0 C R<=1.2 deg C低温热板温度控制（LHP）50.0-120.0 CR<=0.4

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高斯路497号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 视项目而定