设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [预防医学与公共卫生学]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-64101616-131

电子邮箱: wangmin@snpc.org.cn

通讯地址: 上海市徐汇区嘉川路245号3号楼3楼

邮政编码: 200237

联系人: 王敏

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: MS350

所属科研设施:

主要功能: 纳米压印AMONIL刻蚀，Si材料刻蚀

主要技术指标: N2 O2ArCF4SF6He 6种气体，气体流量功率0～300w真空度刻蚀时间RF powderECR

安放地址: 上海市上海市徐汇区嘉川路245号3号楼3楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 根据服务内容协商