设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: vicky.yu@falab.cn

通讯地址: 上海市杨浦区国定东路200号4号楼

邮政编码: 200433

联系人: 俞欣彤

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: PHI 660

所属科研设施:

主要功能: 主要应用于固体材料的成份，特别是微纳区域的表面与结构分析（线扫描，面扫描，深度剖析，成像）。

主要技术指标: 检测范围：原子序数大于He的所有元素检测极限：0.1 at%信息深度：0.5~5 nm空间分辨率：25 nm能量分辨率≤0.3%半定量：相对原子灵敏度因子法

安放地址: 上海市上海市杨浦区国定东路200号4号楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 300