设备分类编码: 010407

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [预防医学与公共卫生学]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-60258178

电子邮箱: czlu@shupec.com

通讯地址: 上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

邮政编码: 200433

联系人: 陆驰中

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>光谱成像仪

规格型号: VERIFIRE ASPHERE

所属科研设施:

主要功能: 用于光学非球面镜片面型的非接触快速高精度三维测量，及平面球面的面形、曲率半径的精确测量，进行光学和超精密零件表面的检测和生产过程控制。广泛用于半导体、光学制造、通讯、光学制造、通讯、医疗、航天、汽车制造和消费电子等生产和科研领域。

主要技术指标: 1.632.8nm激光移相式干涉仪，配1米干涉长度测量系统。2.简单重复精度3nm,表面测量复精度10nm。3.纵向分辨率0.08nm，被测件直径1mm～130mm。轴对称的反射凹面或凸面有测量定点，重量≤5kg，非球面偏高度≤10um，Ro偏离程度≤800um。4.测量口径102mm,变倍比6：1。5.可测非球面镜坡度达800um。6.面型不确定度：≤30°，f/1.0,60nm;≤45°，f/0.71,100nm；≤60°，f/0.58,200nm

安放地址: 上海市上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 200-10000元