设备分类编码: 010801

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [预防医学与公共卫生学]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-60258178

电子邮箱: czlu@shupec.com

通讯地址: 上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

邮政编码: 200433

联系人: 陆驰中

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>光学显微镜

规格型号: NEWVIEW 7300

所属科研设施:

主要功能: 用于快速非接触的微观三维坚持和微观表面型貌定量分析，以其极高的精密度和准确度定型和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密、高速、非接触，且样品无需特殊处理。应用领域包括半导体、高校科研领域，可以测量动态MEMS设备、薄膜分析应用、次纳米表面形貌及精密机械加工等。

主要技术指标: 1.纵向扫描≤150um，可扩展到20mm。扫描速度≤15um/sec,水平视场最大7*5mm。2.纵向分辨率0.1nm,横向分辨率0.36um～9.5um,与所选物镜有关，垂直扫描速度≤135um/sec，与所选的CCD和扫描模式有关。3.RMS重复精度0.01nm,台阶高度重复精度≤0.1%。

安放地址: 上海市上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 200-5000元