设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [预防医学与公共卫生学]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-60258178

电子邮箱: czlu@shupec.com

通讯地址: 上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

邮政编码: 200433

联系人: 陆驰中

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: GPI XP/D 4

所属科研设施:

主要功能: 运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形、球面面形，曲率半径。透过波前、楔角传输波前的测量和分析。广泛用于半导体、光学制造、通讯、光学制造、通讯、医疗、航天、汽车制造和消费电子等生产和科研领域。

主要技术指标: 1.使用氦氖激光，工作波长为632.8nm，平面最大可测量口径150mm。2.空间取样1K*1K像素。数据采样时间：低分辨率（7幅数据图像）：93ms；高分辨率（13幅数据图像）：173ms3.三平面测试重复精度2.0nm，粗糙度重复精度0.1nm。4.分辨率优于λ/8000，条纹分辨率为180条纹5.平板测量λ/300（2a）；RMS重复性λ/10000(2a)

安放地址: 上海市上海市杨浦区黄兴路2005号2号楼20层

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 200-5000元