设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-50275166

电子邮箱: rong.cao@acmrcsh.com

通讯地址: 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第四幢

邮政编码: 201203

联系人: 曹蓉

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: FEI Helios NanoLab 660

所属科研设施:

主要功能: 离子切割FIB、辅助沉积与刻蚀；扫描电镜观察,TEM 样品制备 ，STEM样品观察EDS EBSD

主要技术指标: 场发射电子枪，电子束加速电压：350 V - 30 kV；Ga离子枪，离子束加速电压：500 V C 30 kV；分辨率：0.8 nm (@30kV, STEM)，0.9 nm (@15kV, SE), 1.4 nm (@1kV, SE)；配备Pt气体沉积源；配置STEM EBSD 样品台；安装Auto Slice&View软件可以实现自动化离子束切割成像. 配置IEE刻蚀.

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第四幢

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 100-5000