设备分类编码: 040599

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-50271583

电子邮箱: wjhl@sinoctest.com.cn

通讯地址: 上海市浦东新区浦东张江郭守敬路（351号）

邮政编码: 201203

联系人: 王锦

仪器所属类别: 电子测量仪器>>大规模集成电路测试仪器>>其他

规格型号: UF3000LX

所属科研设施:

主要功能: 可以提供OCR 标识自动识别，程序控制、自动机械走步，兼容12 英寸/8 英寸晶圆

主要技术指标: 综合精度：3.6um适用晶圆尺寸：8英寸、12英寸温度范围：常温 ～ 150℃X/Y轴最大速度：500mm/sec

安放地址: 上海市上海市浦东新区浦东张江郭守敬路（351号）

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 150元/小时