设备分类编码: 010899

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-50274758

电子邮箱: mark.cao@dctek.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1077号3104室

邮政编码: 201203

联系人: 曹杰

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>其他

规格型号: Micrion 9500

所属科研设施:

主要功能: 定点切割(Precision Cutting) 2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation) 3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification) 4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis) 5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphology Observation) 6. GDS自动导航线路定位 (Auto-Navi

主要技术指标: 高电压50kv；高真空e-7；高精密5um

安放地址: 上海市上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1077号3104室

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 面议