设备分类编码: 010104

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [农学]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: jding@eaglabs.com

通讯地址: 上海市浦东新区浦东莲溪路1151号4号楼1层

邮政编码: 201204

联系人: 丁剑铭

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子能谱仪

规格型号: Micrion 9500

所属科研设施:

主要功能: 主要采用集成电路设计过程中的电路修补，并可完成小区域纵向截面分析

主要技术指标: 分辨率4nm,最大可载入8inch wafer

安放地址: 上海市上海市浦东新区浦东莲溪路1151号4号楼1层

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 2500