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ZEISS Auriga FIB聚焦离子束  (收藏)

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设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: ()

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: Auriga

所属科研设施:

主要功能: 可以进行材料表面形貌观察、成分分析、晶体结构分析;可以对材料进行微米尺寸的加工(切割、焊机等);可以制备TEM样品; 

主要技术指标: 离子束束斑2.5nm电子束分辨率1.0nm@30kv能谱仪探测范围B~U,分辨率124eV电子背散射衍射600p/s  

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 正在完善中

服务的典型成果: 中科院物理所、北京科技大学,清华大学化学系、微电子所、航空学院、材料学院、工物系、机械系、

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 机时费(元/小时)——校内(院内):1200.0、校内(院外):1200.0、校外:1200.0;



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