设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-58806921

电子邮箱: yswang@bnu.edu.cn

通讯地址:

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联系人: 王引书

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: *SUNALE? R-200型

所属科研设施:

主要功能: 在原子层尺寸上控制生长多层薄膜，包括金属氧化物、氮化物、硫化物、氟化物、纯金属涂层、纳米叠层、混合氧化物、掺杂薄膜。广泛用于微纳米级的研究、光电子学、光学、催化剂制造、清洁和可再生能源技术、水净化和创新型的包装材料等领域。

主要技术指标: 具有6路独立管道，可以扩展到12个包括液体、固体和气体的生长源；具有一个普通生长腔体和一个粉体生长腔体，具有一个扩散停止阀；衬底和腔体同时加热，最高温度500℃，控制精度2℃，薄膜不均匀度<1%(6英寸)；脉冲阀在200℃时能正常工作，设备上有红、黄、绿三个预警灯，源具有冷却设施。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: