设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

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电子邮箱: yswang@bnu.edu.cn

通讯地址:

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联系人: 王引书

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: JGP-450A

所属科研设施:

主要功能: 主要用于纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研究开发。广泛应用于半导体行业、微电子及新材料领域。

主要技术指标: 溅射室尺寸：Φ450×280；极限真空：6.6×10-5Pa 靶尺寸3×Φ60，样品尺寸：Φ40， 三靶共溅或直溅 样品台室温~500℃；射频电源：1套500W；（沈阳，带转换） 直流电源：2套500W； 镀膜过程采用计算机控制，具有：样品转盘复位功能；确认靶位功能；镀膜时间控制功能；样品转盘回转控制功能；靶级遮挡功能。磁动力传动杆可以从样品库传送样品到样品架；预处理室：反溅射清洗，原位退火400℃

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: