设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: yangzhenming@rsicsh.com

通讯地址: 上海市浦东新区华佗路68号6幢

邮政编码: 201203

联系人: 杨振铭

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: M2000XF

所属科研设施:

主要功能: 椭偏测量技术（Ellipsometry）是一种非破坏光学测量技术，基于利用测试偏振光束测量经样品反射（或透射）后导致的光束偏振态的变化，进而进行分析拟合，得到所需光学信息。椭偏仪利用椭偏术测量薄膜的光学膜层厚度和光学常数、半导体及其氧化物成分的折射率和厚度、润滑层的厚度和表面粗糙度等；也可被用来监控粗糙多晶表面上的膜层生长，实现均匀镀膜等。在科学研究和工业生产的许多领域中获得广泛地应用。

主要技术指标: 光谱范围： 193纳米到1000纳米，500个波长聚焦光斑尺寸： 25μm X60μm入射角：65度数据采集： 最优性噪比采样时间为1到5秒可测量参数： 椭偏：ψ（0-90度）和Δ（0-360度）、反射强度比、退偏比穆勒矩阵： 测量及拟合穆勒矩阵中的11个元素连续旋转补偿器： 旋转速率20Hz光束偏离： <1 arcmin测量模式： 反射式、入射角固定 水平测量平台： 自动Z轴高度，分辨率1μ

安放地址: 上海市上海市浦东新区华佗路68号6幢

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 面谈