设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64524967

电子邮箱: wanghai@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 王海

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: /

所属科研设施:

主要功能: 升级原子层沉积系统（ALD）、扩展其等离子体增强ALD功能；使通过系统的反应气体在电场作用下达到等离子体状态，产生化学活泼的激发态分子、原子、离子和原子团等，促进化学反应，加快薄膜在基底上的生长速度。

主要技术指标: 仪器配置包括射频发生器、等离子体反应腔、手动Loadlock单元部件、1套等离子体载气管路、2套等离子体反应气体管路；射频发生器最大频率13.56MHz、最大功率300W且可调节；等离子体反应腔、手动Loadlock单元部件适用于8英寸及以下尺寸基底。

安放地址: 十三陵镇石牌坊北路18号

服务内容: 薄膜样品制备

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》