设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: ron_yu@isti.com.cn

通讯地址: 上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

邮政编码: 201103

联系人: 尤佳荣

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: INM 100

所属科研设施:

主要功能: A多种成像方式（亮场、暗场成像等）B最大样片尺寸可达8寸，分辨率达0.18umC先进的检测方式可用于硅片其他材料的失效分析及工艺评估

主要技术指标: ACCD自动采集系统B显微镜调体系统和显微镜控制遥感器系统CCCD控制器将CCD所采集到的图片信息进行数/模之间的转换系统D先进的自动拍摄控制软件和自动保存系统

安放地址: 上海市上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: case by case