设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: ron_yu@isti.com.cn

通讯地址: 上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

邮政编码: 201103

联系人: 尤佳荣

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: FIB 200/800/986

所属科研设施:

主要功能: 1.Circuit Secondary Repair/Modify2.Cross-Section3.Failure/Structure Analysis4.TM case sample fabrication

主要技术指标: A,电压:Vacc:0.5~30KVVext:0~6.5KVB,分辨率:5nm at 25KeV C, 放大倍率:200~15000倍D,可观察范围:x:0~25mm;y:0~25mm;z:

安放地址: 上海市上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: case by case