设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: ron_yu@isti.com.cn

通讯地址: 上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

邮政编码: 201103

联系人: 尤佳荣

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: RIE-10NR

所属科研设施:

主要功能: 全面开发出各种工艺，用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻，其中包括：碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨

主要技术指标: 1. 高选择性各向异性腐蚀，符合苛刻的制程要求；2. 全自动 一键 操作完全代替手动操作；3. 易于使用的电脑触屏的参数控制和配方输入和存储；4. 晶圆尺寸达8 英寸直径，圆滑、紧凑的设计使用最少的洁净室空间；5. RIE-10NR设计用于蚀刻氮化物、氧化物和任意需要氟基化学的薄膜或基片。其安装在节省空间的平台上的模块化设计，使其成为全世界许多用户的首选系统；

安放地址: 上海市上海市闵行区宜山路1618号新意城C栋一楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 2500元/hr