设备分类编码: 040204

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64525223

电子邮箱: hanyt@nim.ac.cn

通讯地址: 北京市朝阳区北三环东路18号中国计量科学研究院18号楼314室

邮政编码: 100029

联系人: 韩雨桐

仪器所属类别: 电子测量仪器>>射频和微波测试仪器>>射频和微波测量系统

规格型号: SUMMIT 12000

所属科研设施:

主要功能: 实现对共面波导等片上电路和器件的毫米波参数进行精密测量和计量，主要功能包括 1. X-Y-Z三维自动定位，定位精度达到微米量级； 2. 电路图形的自动识别； 3. 对毫米波探针的自动校准； 4. 对被测对象散射参数的自动测量。

主要技术指标: 自动探针台部分 X-Y方向 行程203mm x 203mm 移动准确度 ≤ 2.5μm Z 方向 行程 5mm 移动准确度 ≤ 2μm

安放地址: 二基地18号楼1003室

服务内容: 片上on wafer微波毫米波测量

服务的典型成果: 为中科院、微电子所、微系统所等科研机构；中电集团、华为公司等大型集团企业和清华大学、北京理工大学、国防科大等著名学府提供毫米波芯片片上散射参数服务，为芯片设计优化和性能提升提供支撑，提高科研质量，有力的支持科研成果的认证

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》