设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: caimh@fa-tek.com.cn

通讯地址: 上海市徐汇区桂平路555弄45号4楼

邮政编码: 200233

联系人: 蔡敏华

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: FEI xl830/986-IET

所属科研设施:

主要功能: 对失效样品进行切片放大分析，可以修改电路走线，验证芯片功能。

主要技术指标: 高压系统：5kv-50kv，分辨率：0.1nm，离子源：GA离子，耗材：EE/IEE/IDEP/PT/W

安放地址: 上海市上海市徐汇区桂平路555弄45号4楼

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 800