设备分类编码: 040599

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-82001751

电子邮箱: gaoxd09@sina.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 高旭东

仪器所属类别: 电子测量仪器>>大规模集成电路测试仪器>>其他

规格型号: EG4800

所属科研设施:

主要功能: 用于集成电路测试。

主要技术指标: 晶圆尺寸：4",5",6",8" 晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±4？

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: