设备分类编码: 010899

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [冶金工程技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: service@qwings.cn

通讯地址: 上海市宝山区延长路（149号）

邮政编码: 200444

联系人: 牵翼

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>其他

规格型号: Helios 600i

所属科研设施:

主要功能: 纳米级加工及观测研究。

主要技术指标: 1.电子束系统分辨率：0.9nm（15kv）/1.4nm（1kv）2.离子束系统分辨率：在束交叉点：4.5nm@30kV（统计测量法）在束交叉点：2.5nm@30kV（单边测量法）3.电子束加速电压：350V-30kV4.离子束加速电压：0.5-30kV5.电子束流：≤22nA6.离子束流：1pA ？C 65nA

安放地址: 上海市上海市宝山区延长路（149号）

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 2000