设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [冶金工程技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: service@qwings.cn

通讯地址: 上海市宝山区延长路（149号）

邮政编码: 200444

联系人: 牵翼

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: AP-990

所属科研设施:

主要功能: 观察抛光固本表面和薄膜表面的表面形貌、价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量和掺杂后的电场分布；观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等；可用于微电子集成电路器件的失效分析。

主要技术指标: XY平面分辨率:1埃；Z垂直分辨率:0.1埃；扫描范围:20埃--100UM；试样范围:5--50MM AFM,NC-AFM,STM,MFM,EFM。

安放地址: 上海市上海市宝山区延长路（149号）

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 200