设备分类编码: 040599

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 电子与通信技术, 计算机科学技术, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64102095

电子邮箱: cesilab@cesi.cn

通讯地址: 北京市大兴区亦庄经济技术开发区同济南路八号

邮政编码: 100176

联系人: 孟博

仪器所属类别: 电子测量仪器>>大规模集成电路测试仪器>>其他

规格型号: UF3000EX-E

所属科研设施:

主要功能: 配合测试机台，实现wafer裸片、KGD测试

主要技术指标: overallaccuracy:within±1.8um wafer size ф200mm,ф300mm probing Area ±170min maximum Speed X axis:500mm/sec,Y axis:500mm/sec Full Stroke 37mm;Maximum Speed 30mm/S

安放地址: 亦庄经济技术开发区同济南路八号A-301

服务内容: wafer、KGD参数测试

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: Cesi-TY(A)管理03 大型科研仪器设备开放使用管理办法

参考收费标准: 面议