设备分类编码: 010303
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [化学工程]
仪器设备来源: 其它
联系电话: 4001185171
电子邮箱: weihongh@shnu.edu.cn
通讯地址: 上海市徐汇区桂林路100号
邮政编码: 200237
联系人: 胡卫红
仪器所属类别: 分析仪器>>X射线仪器>>X射线能谱仪
规格型号: PH1500C
所属科研设施:
主要功能: 分析样品近表面(5nm)和本体的元素组成,化学态。对多种价态元素,可以自动分峰拟合,并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。
主要技术指标: 1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。2.通过Ar离子枪,可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV,元素含量分析最低值为千分之五。
安放地址: 上海市上海市徐汇区桂林路100号
服务内容: 无
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 无
参考收费标准: 400-1500