设备分类编码: 030122

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 机械工程, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526146

电子邮箱: liqi@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 李琪

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>双频激光干涉仪

规格型号: ZMI4000

所属科研设施:

主要功能: 高精微纳度位置测量

主要技术指标: 分辨力：0.075nm

安放地址: 北三环东路18号

服务内容: 用于对高精度电容位移传感器、多轴纳米位移台等纳米位移装置的行程、分辨率、重复性、非线性测量与校准，以及对其他纳米位移装置的行程和误差的标定，为纳米传感器以及位移台厂商提供校准溯源服务。

服务的典型成果: 为中科院光电研究院、德国PI公司等单位提供纳米传感器及多轴纳米位移台的校准及非线性、稳定性参量的考核，为各省计量院的纳米位移测量装置提供了校准服务。为国家科技支撑计划“纳米位移定位控制技术和系统的研发”，提供了可靠的校准溯源值。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》