设备分类编码: 030120

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [力学, 物理学, 生物学, 工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526145

电子邮箱: taoxf@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 陶兴付

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>纳米测量机

规格型号: TI 900

所属科研设施:

主要功能: 纳米力学测量系统是以静电力加载方式实现高精度纳米压痕、划入、摩擦磨损、动态测试等多种测量功能, 其测量方法符合ISO 14577标准，可用于压入硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、粘附力、存储模量、损失模量等力学性能参数的测量。

主要技术指标: 系统最大载荷力：10 mN，载荷力分辨力：优于50nN； 系统最大压入深度：5μm，位移分辨力：优于0.01nm。

安放地址: 北三环东路18号

服务内容: 对半导体微器件，生物，薄膜新材料的微区的硬度和折合模量提供测试服务。为微纳米压痕仪提供校准溯服务。

服务的典型成果: 通过为中电十三所和北京中澳汇成有限公司的的金薄膜和多层碳膜的硬度进行的准确测量，对其产品制备工艺的改进提供了计量支撑。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》