设备分类编码: 030118

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [生物学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526145

电子邮箱: shiys@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 施玉书

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>原子力显微镜

规格型号: Icon

所属科研设施:

主要功能: 用于纳米几何结构参数的测量，可测量台阶高度、线间隔、线宽、纳米颗粒粒径等参数，还可进行的电学，磁学和力学等特性测量

主要技术指标: 测量范围为(90×90×8)um，垂直噪音水平为0.03nmRMS，样品尺寸为(150×150×12)mm

安放地址: 北三环东路18号

服务内容: 服务于纳米样板的三维结构形貌测量。

服务的典型成果: 为天津大学承担的自然科学基金“纳米制造中的基础研究”重大研究计划项目“基于复合式测量方法的超精密元件跨尺度几何量计量与多参数评价”中对项目研制的测量系统的XYZ三轴方向标定及重复性实验起到了关键作用，其计量和溯源能力保障了测量系统的精度达到项目的研究目标。同时还可以满足MEMS/NEMS及纳米材料等研究领域的计量需求。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》