设备分类编码: 030101

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-64526132

电子邮箱: liqi@nim.ac.cn

通讯地址: 北三环东路18号

邮政编码: 100029

联系人: 李琪

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>螺旋线基准装置

规格型号: MX51DUV

所属科研设施:

主要功能: 微纳测量，主要包括线宽、栅格等

主要技术指标: 紫外光波长：248nm一种，光学测量分辨力：大于80nm，样品台尺寸：300mmx300mm，显微物镜：5X-100X

安放地址: 北三环东路18号

服务内容: 服务于纳米线宽和一维、二维栅格间距的定值与校准，为地方计量机构的纳米几何量值传递样板提供准确量值，为集成电路制造企业提供线宽和栅格校准服务

服务的典型成果: 用于在科技支撑计划课题的紫外光学二维几何结构标准装置中作为装置的重要组成部分，利用深紫外光高分辨率对纳米几何结构关键尺寸进行测量，保障了课题任务的完成。

对外开放共享规定: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》

参考收费标准: 参照《中国计量科学研究院大型仪器设备共享管理实施细则》