设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学工程]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: weihongh@shnu.edu.cn

通讯地址: 上海市徐汇区桂林路100号

邮政编码: 200237

联系人: 胡卫红

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: MPS150

所属科研设施:

主要功能: 微米级电子器件的性能测试

主要技术指标: Chuck stage: travel 155 mm x 155 mm; resolution 5 um; load stroke Y axis: 90 mm; Z height adjustment range: 10 mm; Theta travel 360 degree

安放地址: 上海市上海市徐汇区桂林路100号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 300