设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 021-61130208-808

电子邮箱: xixia_yu@fitek.com

通讯地址: 上海市徐汇区桂平路680号32幢402室

邮政编码: 200233

联系人: 余夕霞

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: FIB200

所属科研设施:

主要功能: FIB200目前主要用以0.18um 以上集成电路修补包括Pt互连，新型辅助气体搭配离子束快速切割,低阻值探点的快速生成，电阻模拟，X-section 和TEM lamella 的制备等．

主要技术指标: 分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA

安放地址: 上海市上海市徐汇区桂平路680号32幢402室

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 100~5000