设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [能源科学技术]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: yxie@suntech-power.com

通讯地址: 上海市闵行区浦江镇立跃路1888号

邮政编码: 201114

联系人: 谢芸

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: KLA tencor P-16+

所属科研设施:

主要功能: 薄膜厚度、应力、表面粗糙度

主要技术指标: 厚度测量误差不大于1nm

安放地址: 上海市上海市闵行区浦江镇立跃路1888号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 60