设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-82649098

电子邮箱: liwuxia@aphy.iphy.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李无瑕

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: Helois Nanolab 600i

所属科研设施:

主要功能: 用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于制备TEM样品和集成电路的失效分析，如可用于制作下列器件与结构：微纳电子器件，光电子器件，生物传感器与DNA探测器，微纳机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件，低维材料输运性质测量的纳米电极，光子晶体等

主要技术指标: 1 离子束系统：交叉点分辨率：≤ 4.5nm @ 30kV (Multi‐edge 平均值法)；交叉点分辨率：≤ 2.5nm @ 30kV (Selective‐edge 单边法)；着落电压：最低着落电压不大于500V，最高着落电压为30 kV； 束流强度：1pA 至65nA (15 孔光阑条)；束流密度：最大值可达60A/cm2；离子源寿命：不低于1000 小时。2．具备可直接导入Bitmap/CAD 文件，按照预先设定的间距，进行离子束沉积，加工复杂图形的能力；3． 电子束技术：分辨率： 在最

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: