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薄膜器测试系统  (收藏)

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设备分类编码: 029900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-58806921

电子邮箱: yswang@bnu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王引书

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他

规格型号: 4200SCS

所属科研设施:

主要功能: 测量纳米晶体、绝缘体、半导体薄膜以及绝缘体层-半导体界面的许多特性,如确定半导体的导电类型、电阻率、杂质浓度及其分布、少数载流子的寿命;也可以用来确定MOS界面态的密度、氧化层中空间电荷的分布等。

主要技术指标: a. 4200-SCS系统具有高功率源测量单元,指标为 1A to 100fA, 200V to 1μV, 20Watt b. 4200-SCS可以开展材料、器件的I-V测试,精度可到10fA,实时绘图与分析,系统的分辨率高至0.1fA c. 4200-SCS系统还可以开展接触结的C-V特性测试,测试率在20 Hz- 1MHz,电容范围 0.01 fF—1μF 。 d. 可以与Hall测试系统兼容 e. 具有ps脉冲测试模块, e. 用户测试模块功能,可用于外接仪表控制与测试平台集成

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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